9NG系列高性能气体纯化器由气路和电控两部分所组成。气路部分主要由吸气剂(Getter)纯化单元和一系列阀门、气体管路和散热器所组成。纯化器可配置过滤精度为0.003微米的颗粒过滤器，采用化学反应的方法在高温下将工艺气体中的H20,02,CO,CO2CH4,NMHC,N2等杂质去除到1ppb以下。电控部分负责控制系统的温度和安全报警等过程，确保纯化器能够持续安全稳定地运行。